日本富士工業(yè)fuji在線式多組分密度計(jì)

產(chǎn)品型號(hào)： FUD-1 Model-53

所屬分類：

產(chǎn)品時(shí)間：2024-09-05

簡(jiǎn)要描述：日本富士工業(yè)fuji在線式多組分密度計(jì)FUD-1 Model-53
產(chǎn)品總覽
該模型在保持FUD-1 Model-53的優(yōu)勢(shì)（例如可維護(hù)性和高精度在線測(cè)量）的同時(shí)，還具有用于半導(dǎo)體制造工藝的小型單元型振蕩器。

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詳細(xì)說明：

日本富士工業(yè)fuji在線式多組分密度計(jì)FUD-1 Model-53

產(chǎn)品總覽

該模型在保持FUD-1 Model-53的優(yōu)勢(shì)（例如可維護(hù)性和高精度在線測(cè)量）的同時(shí)，還具有用于半導(dǎo)體制造工藝的小型單元型振蕩器。

多組分濃度計(jì)的特點(diǎn)

可以實(shí)時(shí)完成3個(gè)組件的2個(gè)組件密度計(jì)側(cè)

標(biāo)配模擬DC 4-20mA（2線）和數(shù)字RS232C
標(biāo)配測(cè)量誤差輸出和報(bào)警輸出
配備自診斷功能和錯(cuò)誤信息顯示為標(biāo)準(zhǔn)配置
緊湊輕便的電池式變送器可以直接安裝在生產(chǎn)線上
由于潤(rùn)濕材料的質(zhì)量以及采用PFA的小產(chǎn)量設(shè)計(jì)，因此對(duì)化學(xué)藥品沒有影響。

值得

可以高精度連續(xù)測(cè)量
免維護(hù)，無需定期調(diào)整/校準(zhǔn)
易于安裝，因?yàn)樵诎惭b過程中無需進(jìn)行任何調(diào)整
通過實(shí)時(shí)輸出輕松反饋到過程

用途

CMP工藝中的CMP漿料和氧化劑濃度控制
清洗過程中清洗液的濃度控制（HF + HNO3 ? HF + H2SiF6等）
控制蝕刻過程中的蝕刻溶液濃度（TMAH +抗蝕劑，TMAH + Si等）

日本富士工業(yè)fuji在線式多組分密度計(jì)FUD-1 Model-53

規(guī)范

模型		FUD-1 53型
		轉(zhuǎn)換器
測(cè)量參數(shù)		超聲波傳播速度，溫度，電導(dǎo)率
顯示		LCD（密度1，密度2，溫度，聲速，電導(dǎo)率/各種參數(shù)）
輸出信號(hào)		模擬DC 4?20mA：2個(gè)系統(tǒng)（可自由設(shè)定濃度值）數(shù)字RS232C（濃度1，濃度2，聲速，溫度，電導(dǎo)率，錯(cuò)誤代碼）報(bào)警上下限測(cè)量錯(cuò)誤：2個(gè)系統(tǒng)
電源供應(yīng)		AC100V-240V 50 / 60Hz兩用30VA（也可使用DC24V）
施工		面板安裝類型（符合DIN標(biāo)準(zhǔn)）
環(huán)境溫度轉(zhuǎn)換器		0-50°攝氏度
		RH85％以下（無凝結(jié)）
功能		輸出范圍設(shè)定功能，警報(bào)輸出設(shè)定功能，濃度顯示移動(dòng)平均值功能，濃度顯示偏移及增益設(shè)定功能，自診斷功能，故障保險(xiǎn)功能，異常值取消功能，溫度時(shí)間常數(shù)校正
選項(xiàng)		溫度輸出（DC4?20mA） RS485輸出（不能與RS232C同時(shí)輸出）
通道（校準(zhǔn)曲線）		高達(dá)7ch
合適的發(fā)射器示例		SA-20S29 +電導(dǎo)率儀，SA-20S27 +電導(dǎo)率儀

模型	發(fā)射機(jī)
模型	SA-20S29 +電導(dǎo)率儀	SA-20S27 +電導(dǎo)率儀
震動(dòng)元素	PZT（2MHz）x1	PZT（2MHz）x2
測(cè)量元件	熱敏電阻	熱敏電阻
測(cè)量液體溫度	0-100°攝氏度	0-80°攝氏度
施工	流通池	流通池
濕件材料	PFA / PFA涂層	PFA
聯(lián)合	3/4配件（可更換）	3/4配件（可更換）
耐壓性	0.3兆帕	0.3兆帕
流量	5l / min（推薦）	5l / min（推薦）
重量	2.5公斤	2.5公斤
電纜	電纜6m	電纜6m
環(huán)境溫度	5-45°攝氏度	5-45°攝氏度

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