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您是否正在尋找便宜且簡單的濺射設(shè)備?

發(fā)布時間:2025-02-18 點擊量:110

您是否正在尋找便宜且簡單的濺射設(shè)備?

MSP-Mini僅使用一個按鈕自動涂覆。這是一種具有出色成本性能的設(shè)備。
該目標是一種消耗量的,使用尺寸較小(φ32mm),使運行成本較低。

AU目標作為標準。它證明了其對低磁化觀測臺SEMS進行預處理的能力。
可選的AG膜具有出色的光澤,并且可以輕松觀察光學顯微鏡下透明材料的表面。

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小型磁控濺射裝置 MSP-MINI 核心優(yōu)勢

1. 緊湊設(shè)計,空間利用率高

  • 體積小巧,占地面積僅為傳統(tǒng)設(shè)備的1/3,適配高校實驗室、科研院所或小型企業(yè)等空間有限的環(huán)境。

  • 一體化集成設(shè)計,減少外接組件需求,安裝靈活,輕松融入現(xiàn)有實驗平臺。

2. 操作簡便,快速上手

  • 配備智能觸控界面,參數(shù)設(shè)置直觀清晰,無需復雜培訓即可獨立操作。

  • 全自動真空控制系統(tǒng),一鍵啟動鍍膜流程,顯著降低人為操作誤差。

  • 支持多組工藝參數(shù)存儲,實驗條件快速切換,提升研發(fā)效率。

3. 高性價比,低使用成本

  • 相比大型設(shè)備,采購成本降低50%以上,適合預算有限的用戶。

  • 功耗低(<2kW),靶材利用率高,維護成本可控,長期使用經(jīng)濟性顯著。

  • 模塊化設(shè)計,關(guān)鍵部件可單獨更換,避免整機維修的高昂費用。

4. 穩(wěn)定鍍膜,性能優(yōu)異

  • 磁控濺射工藝成熟,膜層均勻性達±5%以內(nèi),致密性好,附著力強。

  • 支持多種靶材(金屬、合金、氧化物等),滿足導電膜、光學膜、防腐涂層等多樣化需求。

  • 基片兼容性強,可處理直徑≤4英寸的樣品,適用于微納器件、傳感器等小型化產(chǎn)品。

5. 安全可靠,綠色環(huán)保

  • 多重安全防護機制:真空異常報警、過流保護、防濺射短路設(shè)計,保障實驗安全。

  • 封閉式濺射腔體,有效防止粉塵和氣體泄漏,符合實驗室環(huán)保標準。

6. 科研與教學雙重適配

  • 為材料科學、電子工程等學科提供實踐平臺,助力學生理解鍍膜技術(shù)原理。

  • 支持小批量試生產(chǎn),幫助初創(chuàng)企業(yè)快速驗證工藝,縮短研發(fā)周期。

7. 擴展靈活,升級無憂

  • 可選配射頻電源、加熱基片臺等模塊,拓展功能至絕緣材料鍍膜或高溫成膜。

  • 提供定制化服務(wù),根據(jù)需求調(diào)整腔體尺寸或靶位數(shù)量。


應(yīng)用場景示例

? 高校實驗室:薄膜制備教學、新材料研發(fā)
? 企業(yè)研發(fā)中心:電子元件表面改性、光學器件鍍膜
? 創(chuàng)客工坊:微型傳感器、柔性電子器件開發(fā)

MSP-MINI設(shè)備規(guī)格


物品規(guī)格
電源AC100V,10A 3核插頭,用接地線
設(shè)備尺寸寬度180mm,深度270mm,高度183mm
(設(shè)備重4.2kg)
旋轉(zhuǎn)泵排氣速度:5 l/min(G-5DA)
(泵重量:5.5kg)
旋轉(zhuǎn)泵油(SMR-100)用法:180 ml
樣品室大小內(nèi)徑86mm,高度60mm(硬玻璃)
樣本階段尺寸φ83mm
樣品量有效直徑φ30mm,高度20mm
目標φ30mm磁石電極
AU(標準),可選(Ag)











MSP-Mini消耗品和零件清單

提出請求時,請與我們聯(lián)系以獲取銷售。

MSP-MINI的
AU目標
[t = 0.1mm]

MSP-MINI的
Ag目標
[t = 0.5mm]

旋轉(zhuǎn)泵油(包括500毫升)
[SMR-100]



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