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環(huán)境溫濕度對半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中的影響

發(fā)布時間:2025-01-10 點擊量:302

環(huán)境溫濕度對半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中的影響

測量氣體中的水蒸氣露點溫度的儀器叫做露點儀。露點儀因所使用的冷卻方法和檢測控制方法不同,可以分為多種類型。這里只介紹熱電制冷自動檢測露層的平衡式精密露點儀在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)中的應(yīng)用。

       露點儀在半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)工藝中起重要監(jiān)測作用。半導(dǎo)體芯片的生產(chǎn)是在

凈化間內(nèi)進行的。凈化間規(guī)范往往包括相對濕度(RH)這一項,一年內(nèi)控制點的范圍從35%到65%,精度2%(70℃以下)濕度超標(biāo)會影響產(chǎn)品質(zhì)量及生產(chǎn)計劃的完成。

       

        在半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)區(qū),濕度不穩(wěn)定,會出現(xiàn)很多問題。最典型的問題是烘干期延長,整個處理過程變得難以控制。當(dāng)相對濕度高于35%時,元件易被腐蝕。此外,將顯影液噴在芯片表面時,顯影液迅速揮發(fā),使芯片表面溫度下降,致使水汽凝結(jié)在芯片表面。凝結(jié)水不但會影響顯影特性,還會吸收到半導(dǎo)體內(nèi),這將導(dǎo)致膨化及其它質(zhì)量缺陷,還必須增加一些不必要的工藝控制。

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特征

特 點 

全部在TEKHNE工廠校準(zhǔn) 創(chuàng)新的氧化鋁技術(shù) 測量范圍:-100~+20℃露點 0~2000ppm(選件) 精度:±2℃露點 壓力:10-4Pa~30 MPa TK-100在線式監(jiān)測儀 TK-100傳感器不包含監(jiān)測儀 安裝簡便

簡 便 

 TEKHNE公司是一家擁有40年露點測量的日本制 造商,生產(chǎn)創(chuàng)新的TK-100系列濕度儀。  測量方便,帶有顯示屏的TK-100在線式濕度儀能 連續(xù)測量,你所需要的是100~240VAC電源和樣氣接 口。此外,你也可以選擇TK-100露點傳感器,單獨使 用4~20mA信號輸出供電18~28VDC。

高 品 質(zhì)  

TEKHNE的氧化鋁陶瓷傳感器能保證最佳精度, 快速響應(yīng)以及長期穩(wěn)定性。大多數(shù)先進的傳感器技術(shù) 均應(yīng)用于此。  此外,先進的微處理器技術(shù)實現(xiàn)全溫度補償,將 處理溫度到露點測量值的影響最小化。通過TK-100傳 感器把-80~+20℃露點輸出轉(zhuǎn)換為穩(wěn)定的和線性的 4~20mA輸出。

靈 活 性  

TEKHNE的TK-100系列用于空氣或惰性氣體的露 點測量。把傳感器通過選件取樣座由5/8" UNF或1/8"  NPT接入到你的處理線上。1/8 DIN顯示屏可在距離傳 感器1000米遠處設(shè)置。  處理線的流量必須設(shè)定為1~10NL/分(帶選件取 樣座)或0.5~10m/秒(不帶選件取樣座)溫度范圍 -20~+60℃,壓力可達30MPa。建議安裝過濾器濾去 灰塵。


主要用途

  • 手套箱內(nèi)的露點控制

  • 干燥機露點檢查

  • 熱處理爐內(nèi)氣氛控制

  • 潔凈室和干燥室的露點管理

  • 氣體純度控制

  • 天然氣水分管理

  • 半導(dǎo)體制造設(shè)備

  • 有機EL制造

技術(shù)參數(shù)

TK-100 傳感器 

測量范圍 -100~+20 ℃

露點  0~2000ppm(選件) 

精度 ±2 ℃露點 

模擬輸出 4~20 mA(三線技術(shù)) 

供電 12~28 VDC 

操作溫度 -20~+60 ℃ 

操作壓力 10-4Pa~30 MPa 13 

TK-100 監(jiān)測儀 

顯示器 5位數(shù)字LED 

測量范圍 -100~+20 ℃露點 

輸出 4~20 mA 報

警繼電器 3個繼電器觸點 

操作環(huán)境 0~+50 ℃(35~85%RH) 

供電 100~240 VAC, 50/60 Hz 

面板開孔 92寬 x 45高 mm

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