簡(jiǎn)易型微量金屬污染物采樣設(shè)備（SC系列）

SC-3100
●通過(guò)與計(jì)算機(jī)聯(lián)機(jī)，可選擇豐富多樣的采樣模式，對(duì)晶圓正面以及端面的微量金屬污染物進(jìn)行采樣操作。
●因?yàn)椴惶枰獠抠Y源，也不太占地方，易于導(dǎo)入。
●采樣操作由設(shè)備自動(dòng)完成，無(wú)需熟練工就可輕松完成采樣操作。
●采樣液的供給和支架具的移動(dòng)由設(shè)備自動(dòng)操作，與SC-2000相比，可以減少由操作員引起的污染。

SC-8100
●具有對(duì)親水晶圓污染物進(jìn)行采樣的功能、對(duì)于硅材質(zhì)以外的晶圓、由于基體蝕刻等導(dǎo)致表面粗糙的晶圓也可進(jìn)行采樣操作。
●對(duì)于晶圓表面狀態(tài)、采樣液種類的要求不苛刻，另外，還可以對(duì)非重金屬離子進(jìn)行采樣。
●當(dāng)然，也可以進(jìn)行傳統(tǒng)的憎水采樣操作。

SC-9100
●具有對(duì)親水晶圓污染物進(jìn)行采樣的功能、對(duì)于硅材質(zhì)以外的晶圓、由于基體蝕刻等導(dǎo)致表面粗糙的晶圓也可進(jìn)行采樣操作。
●對(duì)于晶圓表面狀態(tài)，以及采樣液種類的采樣限制，本設(shè)備有所突破，另外，也可以對(duì)非重金屬離子進(jìn)行采樣。
●當(dāng)然，也可以進(jìn)行常規(guī)的憎水采樣操作。
●采樣液的供給和支架具的移動(dòng)由設(shè)備自動(dòng)操作，與SC-8100相比，可以減少由操作員引起的污染。

※1，2: 追加項(xiàng)目需要另外計(jì)費(fèi)，另外，對(duì)于親水狀態(tài)的晶圓，不能進(jìn)行端面采樣，謹(jǐn)請(qǐng)諒解。
※3：配置電腦需要另外計(jì)費(fèi)。