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準(zhǔn)分子 UV 172nm固化技術(shù)介紹

發(fā)布時(shí)間:2024-01-10 點(diǎn)擊量:2120

準(zhǔn)分子 UV 172nm固化技術(shù)介紹

“準(zhǔn)分子",這個(gè)詞對(duì)于很多人來(lái)說(shuō)可能會(huì)比較陌生。但實(shí)際上,準(zhǔn)分子光源技術(shù)已存在多年,并已成功應(yīng)用于一些工業(yè)領(lǐng)域,例如表面處理、消毒、工業(yè)加工、照明等。但在光固化應(yīng)用中,準(zhǔn)分子光源顯示出的特殊效果卻使其在近年來(lái)獲得了越來(lái)越多的關(guān)注。

“準(zhǔn)分子紫外光固化技術(shù)",作為光固化技術(shù)的一種,近年來(lái)已成為了光固化應(yīng)用領(lǐng)域的技術(shù)熱點(diǎn)之一。以準(zhǔn)分子板材為例,其消光和膚感效果,正是通過(guò)運(yùn)用準(zhǔn)分子紫外光固化技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)的。

在準(zhǔn)分子板材的固化過(guò)程中,采用了準(zhǔn)分子紫外光固化與中壓紫外線汞燈固化兩種技術(shù)相結(jié)合的方式。其中,172nm的準(zhǔn)分子紫外線固化技術(shù),作為其關(guān)鍵技術(shù)之一,正是實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)分子板材消光和膚感效果的主要技術(shù)。其原理在于172nm準(zhǔn)分子光屬于短波紫外線,穿透能力較為有限(100-500nm),僅能對(duì)涂層表面進(jìn)行固化。通過(guò)這兩種固化方式的結(jié)合使得涂層表面產(chǎn)生微觀意義上的褶皺,形成了光的漫反射,從而達(dá)到消光和膚感的效果。

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適用于 6 英寸晶圓和掩模的長(zhǎng)壽命緊湊型準(zhǔn)分子 VUV 172nm 光源

風(fēng)冷緊湊型準(zhǔn)分子燈單元,燈長(zhǎng)160mm,該單元專為VUV 172波長(zhǎng)的照射而設(shè)計(jì),系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,具有低成本、高性能的特點(diǎn),準(zhǔn)分子UV燈可實(shí)現(xiàn)低溫精密處理。

緊湊型準(zhǔn)分子UV172nm UV光源是兼容6"晶圓和掩?;宓臒?。其特點(diǎn)是簡(jiǎn)單緊湊、高可靠性風(fēng)冷型、無(wú)需更換燈管的長(zhǎng)壽命準(zhǔn)分子燈。*1電源為AC100V。

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特點(diǎn) 

長(zhǎng)壽命風(fēng)冷準(zhǔn)分子燈。無(wú)需更換燈管

    本來(lái),準(zhǔn)分子紫外線燈的結(jié)構(gòu)是燈泡內(nèi)部沒(méi)有電極,因此理論上它們被認(rèn)為是長(zhǎng)壽命燈,在國(guó)外有時(shí)被稱為準(zhǔn)分子燈。然而,如今追求高照度的準(zhǔn)分子燈由于燈管材料更輕、更薄、燈管溫度更高以及紫外線能量導(dǎo)致的玻璃變形,往往導(dǎo)致燈管壽命較短,從而導(dǎo)致成本較高。

根據(jù)多年的現(xiàn)場(chǎng)經(jīng)驗(yàn),Excimer Co., Ltd.的風(fēng)冷緊湊型準(zhǔn)分子燈需要定期更換外部電極、高壓電纜和高壓部件,但不需要更換內(nèi)部電極。燈管本身,實(shí)現(xiàn)低成本和高可靠性。*1

特征

  • 風(fēng)冷方式,安裝方便。

  • 燈管燈長(zhǎng)160mm

  • 電源 AC100V 50/60Hz

  • 瞬時(shí)開(kāi)/關(guān)燈功能。

  • 適合研究和開(kāi)發(fā)。

應(yīng)用領(lǐng)域

  • 表面潤(rùn)濕性和改性

  • 光化學(xué)

  • 反應(yīng)性O(shè)H自由基過(guò)程

  • 抗蝕劑去除

  • UV O3工藝


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