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適用于 6 英寸晶圓和掩模的長壽命緊湊型準(zhǔn)分子 VUV 172nm 光源介紹

發(fā)布時(shí)間:2023-11-29 點(diǎn)擊量:588

適用于 6 英寸晶圓和掩模的長壽命緊湊型準(zhǔn)分子 VUV 172nm 光源介紹

風(fēng)冷緊湊型準(zhǔn)分子燈單元,燈長160mm,該單元專為VUV 172波長的照射而設(shè)計(jì),系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,具有低成本、高性能的特點(diǎn),準(zhǔn)分子UV燈可實(shí)現(xiàn)低溫精密處理。

緊湊型準(zhǔn)分子UV172nm UV光源是兼容6"晶圓和掩?;宓臒?。其特點(diǎn)是簡(jiǎn)單緊湊、高可靠性風(fēng)冷型、無需更換燈管的長壽命準(zhǔn)分子燈。*1電源為AC100V。



特點(diǎn) 

長壽命風(fēng)冷準(zhǔn)分子燈。無需更換燈管

    本來,準(zhǔn)分子紫外線燈的結(jié)構(gòu)是燈泡內(nèi)部沒有電極,因此理論上它們被認(rèn)為是長壽命燈,在國外有時(shí)被稱為準(zhǔn)分子燈。然而,如今追求高照度的準(zhǔn)分子燈由于燈管材料更輕更薄、燈管溫度更高以及紫外線能量導(dǎo)致的玻璃變形,往往會(huì)導(dǎo)致燈管壽命較短,從而導(dǎo)致成本較高。

根據(jù)多年的現(xiàn)場(chǎng)經(jīng)驗(yàn),Excimer Co., Ltd.的風(fēng)冷緊湊型準(zhǔn)分子燈需要定期更換外部電極、高壓電纜和高壓部件,但不需要更換內(nèi)部電極。燈管本身,實(shí)現(xiàn)低成本和高可靠性。*1

特征

  • 風(fēng)冷方式,安裝方便。

  • 燈管燈長160mm

  • 電源 AC100V 50/60Hz

  • 瞬時(shí)開/關(guān)燈功能。

  • 適合研究和開發(fā)。

應(yīng)用領(lǐng)域

  • 表面潤濕性和改性

  • 光化學(xué)

  • 反應(yīng)性O(shè)H自由基過程

  • 抗蝕劑去除

  • UV O3工藝


準(zhǔn)分子紫外光處理的工藝原理


規(guī)格


波長172納米 
燈長160毫米(燈箱型) 
功能立即開/關(guān)燈
燈箱尺寸(燈箱類型)寬200×高45×深80mm
電源尺寸(燈箱類型)寬250×高140×深200mm
力量交流100V 60Hz 1A
奧普廷斯臭氧過濾器、工藝氣體供應(yīng)裝置













*由于采用緊湊型風(fēng)冷設(shè)計(jì),連續(xù)點(diǎn)亮?xí)r間在10分鐘以內(nèi)。



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