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Tomei Giken激光干涉儀介紹分析

發(fā)布時間:2023-04-03 點擊量:831

Tomei Giken激光干涉儀介紹分析

Tomei Giken制造和銷售自己的超小型(akion)干涉儀。 我們提供各種入射孔徑的Fizeau型激光干涉儀,例如4英寸(Φ100毫米),6英寸(Φ150毫米)和1.5英寸(Φ38毫米)。
使用參考透鏡,可以測量和評估拋光表面,例如玻璃平面、晶圓、反射鏡和具有小到大孔徑的透鏡球,精度為 λ/20。


AK-100ZF 激光干涉儀機(jī)身:4英寸(Φ100)

激光干涉儀

超緊湊型 4“ Fizeau 型激光干涉儀。
具有 6 倍變焦機(jī)構(gòu)的高品質(zhì)機(jī)器

測量校準(zhǔn)4英寸(100毫米)外部尺寸寬340x長190x高260毫米
光源氦氖激光 (633nm)質(zhì)量約 14 公斤
放大1倍~6倍(手動變焦)傳感器標(biāo)準(zhǔn):640 × 480 像素
參考透鏡(參考球面)精度λ/20權(quán)力交流100V 50/60Hz 1A

傳感器可根據(jù)要求更改為3M像素。

 


AK-100ZF/球形系統(tǒng):4英寸(Φ100)

激光干涉儀

 

超緊湊的 4“ Fizeau 激光干涉儀系統(tǒng)。
具有 6 倍變焦機(jī)制的高品質(zhì)機(jī)器。
干涉儀垂直型是基本型,但我們也可以制造干涉儀垂直型或干涉儀水平型。

測量校準(zhǔn)4英寸(100毫米)測量行程

標(biāo)準(zhǔn):約600mm(特殊訂單:約800mm

光源氦氖激光 (633nm)樣品安裝臺Φ120毫米

放大

1倍~6倍
(手動變焦)

樣品制備

5軸載物臺
(α,β傾斜,x,y,z移位)

參考透鏡(參考球面)精度λ/20安裝體積(包括隔振臺)寬1000x長900x高2000mm

隔振臺可改為臺式主動隔振臺
(*) 測量行程長度不包括鏡頭安裝夾具的高度(*) 安裝體積不包括
PC 機(jī)架。

AK-100ZF/牛頓格子系統(tǒng):4“ (Φ100)

激光干涉儀

超緊湊型 4“ Fizeau 型激光干涉儀。
具有 6 倍變焦機(jī)制的高品質(zhì)機(jī)器。
作為牛頓檢查器,增強(qiáng)了支架的剛性和穩(wěn)定性,并將干涉儀主體放置在底部。

測定口徑4inch (100mm)測定ストローク

標(biāo)準(zhǔn):約600mm
(特注:約800mm)

光源He-Neレーザー(633nm)サンプル設(shè)置臺Φ120mm
倍率

1倍 ~ 6倍
(手動ズーム)

サンプル調(diào)整

3軸ステージ
(x,y,z-shift)

基準(zhǔn)レンズ(參照球面) 精度λ/20設(shè)置容積W400xD400xH1200mm

(※)測定ストローク長はレンズ設(shè)置治具高さ分を含んでおりません


 


AK-150ZF 激光干涉儀機(jī)身:6英寸(Φ150)

超緊湊型 6“ Fizeau 型激光干涉儀。
具有 6 倍變焦機(jī)構(gòu)的高品質(zhì)機(jī)器

測量校準(zhǔn)6英寸(150毫米)外部尺寸寬758x長316x高316mm
光源氦氖激光 (633nm)質(zhì)量約 42 公斤
放大1倍~6倍(手動變焦)傳感器標(biāo)準(zhǔn):640 × 480 像素
參考平面(參考平面)精度λ/20權(quán)力交流100V 50/60Hz 1A

如果您需要高密度傳感器,請聯(lián)系我們。


 


AK-150ZF/平面系統(tǒng):6英寸(Φ150)

 

超緊湊型 6“ Fizeau 型激光干涉儀。
具有 6 倍變焦機(jī)制的高品質(zhì)機(jī)器。
平板玻璃、反射鏡、晶圓等的平面精度測量系統(tǒng)
它可以提供垂直類型(左圖)或X-box類型(右圖:90°折疊)。

測量校準(zhǔn)6英寸(150毫米)參考平面(參考平面)精度λ/20
光源氦氖激光 (633nm)樣品制備2軸載物臺(α,β傾斜)
放大1倍~6倍(手動變焦)安裝體積(包括隔振臺)寬1500x長800x高1800mm

* 安裝區(qū)域適用于立式系統(tǒng),不包括 PC 機(jī)架。

AK-40ZF 激光干涉儀機(jī)身:1.5 英寸 (Φ38)

激光干涉儀

超緊湊型 1.5“ Fizeau 型激光干涉儀。
具有 6 倍變焦機(jī)構(gòu)的高品質(zhì)機(jī)器

測量校準(zhǔn)1.5英寸(38毫米)外部尺寸寬121x長127x高248毫米
光源氦氖激光質(zhì)量約4.5公斤
放大1倍~6倍(手動變焦)傳感器標(biāo)準(zhǔn):640 × 480 像素
參考透鏡(參考球面) 表面精度λ/10權(quán)力交流100V 50/60Hz 1A

 


AK-40ZF/球形系統(tǒng):1.5英寸(Φ38)

 

超緊湊型 1.5“ 菲索激光干涉儀。
具有 6 倍變焦機(jī)構(gòu)的高質(zhì)量機(jī)器
可提供垂直_downward(左)或vertical_upward(右)。

測量校準(zhǔn)1.5英寸(38毫米)測量行程

標(biāo)準(zhǔn):約300mm(特殊訂單:約600mm

光源氦氖激光 (633nm)樣品安裝臺60x60毫米
放大

1倍~6倍
(手動變焦)

樣品制備

5軸載物臺
(α,β傾斜,x,y,z移位)

參考透鏡(參考球面) 表面精度λ/10安裝體積(不包括隔振臺)寬250x長250x高800mm



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