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optiworks 4D動態(tài)干涉測量法技術(shù)分析

發(fā)布時間:2022-11-25 點擊量:971

optiworks 4D動態(tài)干涉測量法技術(shù)分析

傳統(tǒng)的移相干涉儀使用壓電元件等移動參考平面,獲取干涉條紋的圖像,并計算相位分布。單次測量至少需要100毫秒,在此期間干涉儀與測量樣品之間會發(fā)生相對振動和空氣波動,導致干涉條紋發(fā)生波動,導致測量誤差增加。為了防止這種情況,需要光學面板、防振裝置、擋風玻璃等。

4D Technology的動態(tài)干涉儀是一種劃時代的系統(tǒng),以其“動態(tài)干涉測量"解決了此類問題。

在“動態(tài)干涉"中,無需機械移動參考平面,一次圖像數(shù)據(jù)采集即可獲得四幀相移干涉圖。由于對相機的每個像素進行相移,因此可以穩(wěn)定地收集數(shù)據(jù),并且由于一次測量的時間可以縮短到 30 微秒,因此可以在干涉圖像因振動等而發(fā)生變化之前的瞬間進行測量。

這使得可以在振動不可避免的環(huán)境中進行測量,測量遠處的樣品和移動物體,以及測量在室內(nèi)進行環(huán)境試驗的樣品。

“4Sight™"數(shù)據(jù)分析軟件

用于高級干涉儀的高級軟件。4D Technology 的 4Sight™ 被認為業(yè)界先進的干涉測量軟件。

4視線

數(shù)據(jù)采集
?可以在4Sight™測量控制臺查看實時圖像的同時進行調(diào)整
?多種數(shù)據(jù)采集模式,如單次、平均、連續(xù)、差分和突發(fā)(電影)

數(shù)據(jù)分析
?斜率、直方圖
?衍射分析(PSF、MTF、自協(xié)方差)
?幾何光學分析(點擴散強度分布、圓形或方形孔徑能量分布)
?澤尼克分析
?各種掩模函數(shù)和其他自定義分析函數(shù)可以添加。



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